O.A.Fouad, M.Yamazato, M.Era, M.Nagano, T.Hirai, I.Usui: "Preparation and properties of TiSi_2 thin films from TiCl4/H2 by plasma enhanced chemical vapor deposition"Journal of Crystal Growth. 234. 440-446 (2002)
O.A.Fouad, M.Yamazato, M.Era, M.Nagano, T.Hirai, I.Usui: "Preparation and properties of TiSi_2 thin films from TiCl4/H2 by plasma enhanced chemical vapor deposition"Journal of Crystal Growth. 234. 440-446 (2002)
复制标题
O.A.Fouad、M.Yamazato、M.Era、M.Nagano、T.Hirai、I.Usui：“等离子体增强化学气相沉积 TiCl4/H2 制备 TiSi_2 薄膜及其性能”《晶体生长杂志》。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
