Experimental Study of Xenon and Tin Discharge Produced Plasma EUV Light Source

Experimental Study of Xenon and Tin Discharge Produced Plasma EUV Light Source
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氙和锡放电产生等离子体EUV光源的实验研究

DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
IEEE Conference Record, The 35th International Conference on Plasma Science
影响因子：
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通讯作者：
E. Hotta
E. Hotta
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M. Watanabe;N. Kishi;J. Yamada;O. Sakuchi;J. Fei;Q. Zhu;A. Okino;E. Hotta

文献摘要

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