Reaction kinetics in the rapid oxide growth on Si(001)-(2x1)probed with reflectance difference spectroscopy
Reaction kinetics in the rapid oxide growth on Si(001)-(2x1)probed with reflectance difference spectroscopy
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用反射差光谱探测 Si(001)-(2x1) 上氧化物快速生长的反应动力学
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Ohno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Muraguchi;Y.Sakurai;Y.Takada;Y.Shigeta;M.Ikeda;K.Makihara;S.Miyazaki;S.Nomura;K.Shiraishi;T.Endoh;N.G.Cha;S.Ohno
