Fabrication of Aluminum Oxide Films by Aluminum Metal Evaporation in Oxygen Gas Atmosphere for Surface Passivation

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氧气气氛下金属铝蒸发制备氧化铝薄膜表面钝化

DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
Technical Digest of the 24^<th> Int. Photovoltaic Solar Energy Conf
影响因子：
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通讯作者：
and T. Sameshima
and T. Sameshima
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M. Hasumi;Y. Kanda;S. Yoshidomi;and T. Sameshima

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