松田良信: "反応性スパッタリングにおけるスパッタ粒子のレーザー分光計測" 電気学会プラズマ研究会資料EP-94-13. 19-28 (1994)
松田良信: "反応性スパッタリングにおけるスパッタ粒子のレーザー分光計測" 電気学会プラズマ研究会資料EP-94-13. 19-28 (1994)
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Yoshinobu Matsuda：“反应溅射中溅射粒子的激光光谱测量”日本电气工程师学会等离子体研究组材料 EP-94-13 (1994)。
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