K. Shibahara: "Ultra-Shallow Junction Formation with Sb Implantation"IEICE Transaction on ElectronicsE 85-C. No.5 (in printing). (2002)
K. Shibahara: "Ultra-Shallow Junction Formation with Sb Implantation"IEICE Transaction on ElectronicsE 85-C. No.5 (in printing). (2002)
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K. Shibahara：“Sb 注入的超浅结形成”IEICE Transaction on ElectronicsE 85-C。
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