電子デバイス評価のための電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡システムの開発
電子デバイス評価のための電子顕微鏡複合化原子間力顕微鏡システムの開発
复制标题
开发用于电子器件评估的组合电子显微镜和原子力显微镜系统
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
潤間威史，佐藤宣夫，山本秀和，中澤謙太，岩田太
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Uruma;K. Terao;N. Satoh;H. Yamamoto;K. Nakazawa;and F. Iwata;潤間威史，佐藤宣夫，山本秀和，中澤謙太，岩田太;潤間威史，佐藤宣夫，山本秀和，中澤謙太，岩田太
