Effect of Added Organic Solution on Low-Temperature Deposition of SiOx Films by
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添加有机溶液对低温沉积SiOx薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Puneet Jain and Susumu Horita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Susumu Horita;Jyotish Patidar;Hitomi Yagyu;and Masaya Nogi;川端 直人，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita;児玉 大志，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita;別府 晟多，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita
