フェムト秒レーザリソグラフィーによる立体的表面加工

フェムト秒レーザリソグラフィーによる立体的表面加工
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使用飞秒激光光刻进行三维表面加工

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平田好則
平田好則
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
西山宏昭;溝尻瑞枝;平田好則

文献摘要

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