積層型静電アクチュエータ用電極リボンの製作
積層型静電アクチュエータ用電極リボンの製作
复制标题
叠层静电致动器用电极带的生产
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤川健一,実吉敬二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小澤瞬;黒坂大希;田中千晴;山本勲;高増正;藤川健一,実吉敬二