T.Yasui,H.Tahara and T.Yoshikawa: "Sputtering Deposition of ITO thin Films by Sheet Shaped ECR Plasma Source"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18^<th> Symposium on Plasma Processing. 605-606 (2001)
T.Yasui,H.Tahara and T.Yoshikawa: "Sputtering Deposition of ITO thin Films by Sheet Shaped ECR Plasma Source"Proceedings of Plasma Science Symposium 2001/The 18^<th> Symposium on Plasma Processing. 605-606 (2001)
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T.Yasui、H.Tahara 和 T.Yoshikawa：“通过片状 ECR 等离子体源溅射沉积 ITO 薄膜”2001 年等离子体科学研讨会论文集/第 18 届等离子体加工研讨会论文集。
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