Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device
Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device
复制标题
通过静电驱动微镜器件的宏观模型分析非线性弹簧特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Minoru Sasaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Shinya Kumagai;Gyu II Shim;Ryoichi Mimoto;Minoru Sasaki
