Morphological modification of nano-structure fabricated on crystal-Si surface by low fluence ion beam irradiation
Morphological modification of nano-structure fabricated on crystal-Si surface by low fluence ion beam irradiation
复制标题
低注量离子束辐照对晶体硅表面纳米结构的形貌修饰
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Tokaji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
X. Guo;S. Momota;N. Nitta;K. Maeda;N. Sato;H. Tokaji
