Electrostatic-comb-drive 2D display-micromirror operated in vacuum
Electrostatic-comb-drive 2D display-micromirror operated in vacuum
复制标题
在真空中操作的静电梳状驱动二维显示微镜
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Hane
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.M.Chu;K.Hane
