Novel Precision PZT-driven Micropositioning Stage with Large Travel Range
Novel Precision PZT-driven Micropositioning Stage with Large Travel Range
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新型精密 PZT 驱动大行程微定位平台
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ichiro HAGIWARA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Huawei CHEN;Ichiro HAGIWARA
