仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析
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DOI：
10.19452/j.issn1007-5453.2020.02.010
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
訾鹏
中科院分区：
文献类型：
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作者：
严中稳;刘武;梁贺龙;许海军;訾鹏
