M.Otobe: "Fabrication of nanocrystalline Si by SiH_4 plasma cell" Mat. Res. Soc. Symp. Proc.377. 51-56 (1995)
M.Otobe: "Fabrication of nanocrystalline Si by SiH_4 plasma cell" Mat. Res. Soc. Symp. Proc.377. 51-56 (1995)
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M.Otobe：“通过 SiH_4 等离子体电池制造纳米晶硅”Mat。
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