Dynamics and Control of Flexure-based Large Range Nanopositioning Systems.

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基于弯曲的大范围纳米定位系统的动力学和控制。

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发表时间：
2014
期刊：
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通讯作者：
G. Parmar
G. Parmar
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
G. Parmar

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