コンフォーマルな超臨界流体堆積におけるCO2圧力の影響
コンフォーマルな超臨界流体堆積におけるCO2圧力の影響
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CO2 压力对保形超临界流体沉积的影响
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mari Takahashi;Koichi Higashimine;Priyank Mohan;Derrick Mott;and Shinya Maenosono;チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩;前之園 信也;チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩
