Fabrication of Al Micro-coil and Loop by Utilizing Electromigration

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利用电迁移制造铝微线圈和环路

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Proceedings of MicroNano 2008 CD-ROM 4
影响因子:
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通讯作者:
(M. Saka)
(M. Saka)
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. X. Sun;(M. Saka)

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