Fabrication of Al Micro-coil and Loop by Utilizing Electromigration
Fabrication of Al Micro-coil and Loop by Utilizing Electromigration
复制标题
利用电迁移制造铝微线圈和环路
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
(M. Saka)
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Y. X. Sun;(M. Saka)