紫外光支援ウエットエッチングによる単結晶SiC基板の平坦化
紫外光支援ウエットエッチングによる単結晶SiC基板の平坦化
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紫外光辅助湿法刻蚀单晶SiC衬底的平坦化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
道川隆士;鈴木宏正;久保田章亀
