顕微ラマン分光法による薄膜メカニカル振動子の応力分布計測手法の構築
顕微ラマン分光法による薄膜メカニカル振動子の応力分布計測手法の構築
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利用显微拉曼光谱开发薄膜机械谐振器应力分布测量方法
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米谷 玲皇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齊藤 正樹;割澤 伸一;米谷 玲皇
