Effect of the microwave surface wave H2 plasma surface treatment on ZnO film.
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复制标题
微波表面波H2等离子体表面处理对ZnO薄膜的影响。
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.SATA et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. NAKAYAMA,T.TAKIZAWA;Y. SAKAMOTO;K.KASHIWAGI;A.SHOJI et al.;T.NAKAYAMS et al.;T.NAKAYAMS et al.;Y.SATA et al.
