Simple Low-Outgassing Atomic Hydrogen Source

Simple Low-Outgassing Atomic Hydrogen Source
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简单的低释气原子氢源

DOI:
10.3131/jvsj2.55.403
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发表时间:
2012
期刊:
Journal of the Vacuum Society of Japan
影响因子:
--
通讯作者:
H. Tanaki
H. Tanaki
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
S. Arae;T. Yamazaki;K. Yanase;K. Ochi;Ishii;M. Okusawa;K. Mase ;H. Tanaki

文献摘要

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