Simple Low-Outgassing Atomic Hydrogen Source
Simple Low-Outgassing Atomic Hydrogen Source
复制标题
简单的低释气原子氢源
DOI:
10.3131/jvsj2.55.403
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Tanaki
中科院分区:
文献类型:
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作者:
S. Arae;T. Yamazaki;K. Yanase;K. Ochi;Ishii;M. Okusawa;K. Mase ;H. Tanaki