Optische Mikroprofilometrie und Rauheitsmessung
Optische Mikroprofilometrie und Rauheitsmessung
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光学显微轮廓测量和测量信息
DOI：
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发表时间：
1987
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Tiziani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Klaus Leonhardt;Karl;H. Tiziani
这是一种现代光学技术，包括光学成像技术、光学成像技术、光学成像技术、光学成像技术、光学成像技术、光学成像技术和光学成像技术。微轮廓测量技术，三维成像技术，自动干涉技术，全息成像技术，全息成像技术，全息成像技术，全息成像技术。[2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]
Es werden moderne optische Verfahren zur beruhrungslosen Oberflachentopographie und Rauheitsmessung beschrieben und ihre Leistungsfahigkeit anhand neuerer Messungen und Analysen diskutiert. Dabei werden zwei Verfahren der Mikroprofilometrie, eine schnelle 3-D-Darstellung der Oberflachentopographie mit automatischer Interferenzstreifenauswertung, koharente Streuverfahren und ein integrales Weislicht-Koharenzverfahren ausfuhrlich behandelt. Auserdem werden eine neue Doppelpas-Strahlenfuhrung und Ausdrucke fur die Erfassung der Lateralauflosung in Abhangigkeit von der numerischen Apertur und dem Ausleuchtungsverhaltnis angegeben.
Recent optical techniques for microtopography and roughness measurements are examined, particularly two methods for high-resolution microprofilometry, a fast 3-dimensional representation of the topography by automated interferogram analysis, coherent scattering methods and a white light coherence method for integral roughness measurement. In addition a double-pass scheme for profilometry and some expressions for lateral resolution in terms of numerical aperture and aperture ratio are introduced.