マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術
マイクロアクチュエータの超微細三次元加工技術
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微型执行器超精细三维加工技术
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
服部正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古谷克司;波多野誠;金山尚樹;服部正
