PVD法による炭化物薄膜の合成と機械的応用
PVD法による炭化物薄膜の合成と機械的応用
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PVD法碳化物薄膜的合成及机械应用
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
塩田 忠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Hino;S. Satake;H. Shinmori;S. Kawabata;K. Koumoto;T. Suzuki;T. Nagasaki;K. Sugikawa;R. Kawasaki;A. Ikeda;塩田 忠
