Y.Sakai, C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Suda: "Fluorocarbon-film preparation in C_8F_<18> vapor rf plasma and its electrical properties"Int. Conf. on Plasma Sciences, Banff, Canada. 6D08 (2002)
Y.Sakai, C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Suda: "Fluorocarbon-film preparation in C_8F_<18> vapor rf plasma and its electrical properties"Int. Conf. on Plasma Sciences, Banff, Canada. 6D08 (2002)
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Y.Sakai，C.Biloiu，I.A.Biloiu，Y.Suda：“C_8F_<18>蒸气射频等离子体中氟碳薄膜的制备及其电性能”Int。
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