K. Goshim et al.: "Low-Temperature Formation of poly-Si Films by Inductively-Coupled Silane Plasma" Proc. 1st Asian Pacific Int. Sympo. on the Basic and Application of Plasma Technol.183-186 (1997)
K. Goshim et al.: "Low-Temperature Formation of poly-Si Films by Inductively-Coupled Silane Plasma" Proc. 1st Asian Pacific Int. Sympo. on the Basic and Application of Plasma Technol.183-186 (1997)
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K. Goshim 等人：“通过电感耦合硅烷等离子体低温形成多晶硅薄膜”Proc。
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