Al積層AZO薄膜のその場熱処理による低抵抗化
Al積層AZO薄膜のその場熱処理による低抵抗化
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通过原位热处理降低Al层压AZO薄膜的电阻
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
牧野 久雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古賀 直弥;牧野 久雄
