Micromachined Transducers Sourcebook

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DOI：
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发表时间：
1998-02
期刊：
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影响因子：
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通讯作者：
G. Kovacs
G. Kovacs
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
G. Kovacs

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1 Introduction and Overview2 Micromachining Techniques3 Mechanical Transducers4 Optical Transducers5 Ionizing Radiation Transducers6 Thermal Transducers7 Magnetic & Electromagnetic Transducers8 Chemical & Biological Transducers9 Microfluidic Devices