Motion Control of Polishing Tool by Using 3-DOF Maglev Actuator
Motion Control of Polishing Tool by Using 3-DOF Maglev Actuator
复制标题
三自由度磁悬浮执行器对抛光工具的运动控制
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinichi Ninomiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yang Liu;Xiaoyou Zhang;Shinichi Ninomiya
