超臨界流体堆積法による二酸化ケイ素薄膜の作製に及ぼす添加剤の影響
超臨界流体堆積法による二酸化ケイ素薄膜の作製に及ぼす添加剤の影響
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添加剂对超临界流体沉积法制备二氧化硅薄膜的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井﨑克史;塩川真里奈;内田寛
