Ion Assisted Oxidation Process in AlOx NOL for Nanocontacts MagnetoResistive Devices

Ion Assisted Oxidation Process in AlOx NOL for Nanocontacts MagnetoResistive Devices
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用于纳米接触磁阻器件的 AlOx NOL 中的离子辅助氧化工艺

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Yohei Shiokawa
Yohei Shiokawa
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
O. Kojima;M. Mamizuka;T. Kita;O. Wada;and K. Akahane;Yohei Shiokawa

文献摘要

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