4H-SiC C面 on-axis基板上の厚膜エピタキシャル成長
4H-SiC C面 on-axis基板上の厚膜エピタキシャル成長
复制标题
4H-SiC C 面同轴衬底上的厚膜外延生长
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
奥村元
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
升本恵子;児島一聡;奥村元
