Influences of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge
Influences of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge
复制标题
氧化物材料对电容耦合放电产生高密度等离子体的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Ohtsu;T.Shimazoe;T.Misawa;H.Fujita
