ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
ナノパルスプラズマCVDによる大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜の合成
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常压纳脉冲等离子体CVD合成类金刚石碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大竹尚登
