Handbook of Ion Implantation Technology (Handbuch der Ionenimplantationstechnik). Herausgegeben von J. Ziegler, Amsterdam: North‐Holland, ca. 700 S., 350 Dfl
Handbook of Ion Implantation Technology (Handbuch der Ionenimplantationstechnik). Herausgegeben von J. Ziegler, Amsterdam: North‐Holland, ca. 700 S., 350 Dfl
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离子注入技术手册 (Handbuch der Ionenimplantationstechnik)。 Herausgegeben von J. Ziegler，阿姆斯特丹：北荷兰，约 700 S.，350 Dfl。
DOI：
10.1002/vipr.19940060115
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发表时间：
1994
影响因子：
0.1
通讯作者：
W. Steckelmacher
中科院分区：
文献类型：
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作者：
W. Steckelmacher
金属卡皮拉伦是在我们的Vakuumanlage zum Zweck的Kalibrierung von Mefigerten verwendet的Einlassen Einlassen gasstroms。他说：“我们的生活很好，加斯图姆的生活不同，我们的生活也不同。我的金属是卡皮拉莱克，它是世界上最重要的东西之一。Zwar gibt es eine Reihe实验者Daten and thetischer Modelle zur Gro-be des Gasstroms Durch Rohre，医生Deren Gultigkeit Fraglich。在此基础上，提出了一种新的实验和理论模型，并建立了相应的理论模型。他说：“这是一件很好的事情。”
Metallische Kapillaren werden haufig zum Einlassen eines bekannten Gasstroms in eine Vakuumanlage zum Zweck der Kalibrierung von Mefigeraten verwendet. Dabei besteht vielfach die Forderung, den Gasstrom uber drei und mehr Dekaden mit einer einzigen Kapillare zu variieren. Dies ist mit metallischen Kapillarlecks moglich, jedoch mu8 wegen der sich andernden Stromungsverhaltnisse deren Leitwert als Funktion des Drucks vermessen werden. Zwar gibt es eine Reihe experimenteller Daten und theoretischer Modelle zur Gro-Be des Gasstroms durch Rohre, doch ist deren Gultigkeit fraglich. In der vorliegenden Arbeit werden Messungen an Edelstahlrohren bei Gasflussen von bis molls mit verschiedenen Edelgasen verglichen rnit unterschiedlichen experimentellen und theoretischen Modellen der Gasstromung im molekularen, viskosen und Ubergangs-Bereich. Ebenfalls werden gewellte Rohre uber diese Stromungsbereiche untersucht.