熱フィラメントCVD法によるn型ダイヤモンドの成長と高濃度ドーピング

熱フィラメントCVD法によるn型ダイヤモンドの成長と高濃度ドーピング
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热丝CVD法生长n型金刚石及高浓度掺杂

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡
片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Katamune Yuki;Izumi Akira;Ichikawa Kimiyoshi;Koizumi Satoshi;片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡

文献摘要

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