H.Soyama (H.Kumano and M.Saka): "Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using Cavitating Jet"Proc.Int.Sympo.On New Applications of Water Jet Technology. 151-156 (1999)
H.Soyama (H.Kumano and M.Saka): "Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using Cavitating Jet"Proc.Int.Sympo.On New Applications of Water Jet Technology. 151-156 (1999)
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H.Soyama（H.Kumano 和 M.Saka）：“利用空化射流在硅片中吸杂的可能性”Proc.Int.Sympo.On 水射流技术的新应用。
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