MEMS/NEMSの最先端技術と応用・市場展開

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前沿MEMS/NEMS技术、应用和市场开发

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
南戸秀仁(分担執筆)
南戸秀仁(分担執筆)
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
H.Nanto;Y.Kitade;Y.Sekikawa;Y.Takei;E.Kusano;A.Kinbara;南戸 秀仁;南戸秀仁(分担執筆)

文献摘要

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