機械学習によるスパッタリング率の角度依存性の予測
機械学習によるスパッタリング率の角度依存性の予測
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通过机器学习预测溅射速率的角度依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小野耀斗,伊庭野健造,上田良夫,リハンテ
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤佑真;南英俊;湯原拓也;菊隆太;桑野玄気;柏木隆成;辻本学;門脇和男;小野耀斗,伊庭野健造,上田良夫,リハンテ
