Emission Characteristics of a Microwave-induced Plasma with Nitrogen-Oxygen Mixed Plasma Gases
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氮氧混合等离子体气体微波诱导等离子体的发射特性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Wagatsuma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Zhang;S. Kashiwakura;K. Wagatsuma;K. Wagatsuma
