活性プラズマ－金属反応を組み入れた超音速フリージェットPVDによるAlN膜の形成
活性プラズマ－金属反応を組み入れた超音速フリージェットPVDによるAlN膜の形成
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通过结合活性等离子体-金属反应的超音速自由喷射 PVD 形成 AlN 薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅
