Dependence of Mechanical on Position in Silicon Ingot by Evaluating B and Ge Codoped Silicon
Dependence of Mechanical on Position in Silicon Ingot by Evaluating B and Ge Codoped Silicon
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通过评估 B 和 Ge 共掺杂硅来评估机械对硅锭中位置的依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Shirata
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Yamashita;M. Noda;K. Funami;田中展,渋谷陽二,泉聡志,酒井信介;T. Shirata
