Effect of thermal oxide on the crystallization of the anodic Ta2O5 film
Effect of thermal oxide on the crystallization of the anodic Ta2O5 film
复制标题
热氧化对阳极Ta2O5薄膜结晶的影响
DOI：
10.1007/bf02657713
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发表时间：
2001
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Gladkikh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yu. Pozdeev;A. Gladkikh
