Akiyosi,ODA, Masato,OHTA, Junji,SHlBATA, Takayasu,KIMURA: "A Basic Study on Chemical Mechanical Polishing (CMP), The 4th Manufacturing and Machine Tool Conference"The Japan Society of Mechanical Engineers. No.02-25. 213-214 (2002)
Akiyosi,ODA, Masato,OHTA, Junji,SHlBATA, Takayasu,KIMURA: "A Basic Study on Chemical Mechanical Polishing (CMP), The 4th Manufacturing and Machine Tool Conference"The Japan Society of Mechanical Engineers. No.02-25. 213-214 (2002)
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Akiyosi、ODA、Masato、OHTA、Junji、SHlBATA、Takayasu、KIMURA：“化学机械抛光 (CMP) 的基础研究，第四届制造和机床会议”日本机械工程师学会。
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