天然資源を活用した炭砥石の開発（第1報：シリコンウエハの研磨）
天然資源を活用した炭砥石の開発（第1報：シリコンウエハの研磨）
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利用自然资源开发木炭磨石（报告1：硅晶片的抛光）
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
萩原親作 ,久慈照信,清水 毅,ユザイリ・アブドゥル・ラヒム,篠塚郷貴
