Eiji HONBO, Mitsuru MIYATA, Yushi KATO, Shigeyuki ISHII: "Application of Electron Cyclotron Resonance Plasma in Arched Magnetic Mirrors to Deposition of TiO_2 Thin Films"Review of Scientific Instruments. 73・2. 843-845 (2002)
Eiji HONBO, Mitsuru MIYATA, Yushi KATO, Shigeyuki ISHII: "Application of Electron Cyclotron Resonance Plasma in Arched Magnetic Mirrors to Deposition of TiO_2 Thin Films"Review of Scientific Instruments. 73・2. 843-845 (2002)
复制标题
Eiji HONBO、Mitsuru MIYATA、Yushi KATO、Shigeyuki ISHII：“电子回旋共振等离子体在拱形磁镜中沉积 TiO_2 薄膜”科学仪器评论 73・2。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
