弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密平面位置決め機構(量子化を考慮した電流駆動方法の改善)
弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密平面位置決め機構(量子化を考慮した電流駆動方法の改善)
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弹性导轨——电磁力驱动的毫行程超精密平面定位机构（考虑量化的电流驱动方法的改进）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田茂生
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松田智明;深田茂生
